專任or專案教師
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教授兼任人資處處長
陳瑞堂
Email
dale_chen@must.edu.tw
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學歷
國立台灣科技大學 化工所 博士
研究興趣
電子科技已被廣泛應用於日常生活中,如電腦、手機、衛星導航、通訊產品等方面,所衍生出的產業如半導體、光電、印刷電路板、構裝、資訊、電子特用化學品等相關科技,其中,微影製程是電子科技中相當重要的製程,所使用的光阻劑扮演著關鍵角色,本研究室著重在「光阻劑開發」及「配方改善」相關領域之研究,目前研究主題如下:
LCD 用負型光阻劑開發如:顏料分散型彩色光阻劑、感光性間隙物光阻劑、平坦層負型光阻劑 … 等。
光阻劑配方改善技術:光阻劑為客製化產品,須符合廠商製程與特性需求,如何以理論改善方法,達成商品化目標,為本研究室研究重點。